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    中央精機(jī)CHUO 線性馬達(dá) AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

    中央精機(jī)CHUO 線性馬達(dá) AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

    簡(jiǎn)要描述:中央精機(jī)CHUO 線性馬達(dá) AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15
    應(yīng)用
    電子、半導(dǎo)體制造裝置(EB裝置等)
    新一代半導(dǎo)體設(shè)備的研究開發(fā)
    其他納米科技研究

    訪問次數(shù):1787

    所屬分類:測(cè)量?jī)x.檢測(cè)器

    更新時(shí)間:2021-06-21

    廠商性質(zhì):代理商

    詳情介紹
    產(chǎn)地類別進(jìn)口

    主要特征
    材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐熱性、低熱膨脹系數(shù)等特性,能適合在特殊環(huán)境下使用保證高精度、可靠性。
    Al2O3的復(fù)合材料能在真空、非磁性條件下使用
    導(dǎo)軌部件使用Si3N4材料制成,具有很好的平滑性能,可以省去使用潤(rùn)滑油,避免了污染真空環(huán)境,影響真空度
    適用zui高真空度10-5Pa的環(huán)境

    應(yīng)用
    電子、半導(dǎo)體制造裝置(EB裝置等)
    新一代半導(dǎo)體設(shè)備的研究開發(fā)
    其他納米科技研究

     
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    價(jià)     格
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    線性馬達(dá)規(guī)格

    參數(shù)AME-15AME-25AMH-13AMH-15AMH-25
    移動(dòng)量0~15mm0~25mm0~13mm0~15mm0~25mm
    分辨率0.0001mm-
    位置精度0.01mm-
    zui大速度0.07mm/min1mm/min
    推力98N(10kgf)-
    工作溫度20±10℃
    限位傳感器原點(diǎn)、zui大、zui小-
    線長(zhǎng)2m
    重量0.29Kg0.3Kg0.13Kg0.14Kg

    中央精機(jī)CHUO 線性馬達(dá) AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

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