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    中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

    中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

    簡要描述:中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15
    應用
    電子、半導體制造裝置(EB裝置等)
    新一代半導體設備的研究開發
    其他納米科技研究

    訪問次數:1701

    所屬分類:測量儀.檢測器

    更新時間:2021-06-21

    廠商性質:代理商

    詳情介紹
    產地類別進口

    主要特征
    材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐熱性、低熱膨脹系數等特性,能適合在特殊環境下使用保證高精度、可靠性。
    Al2O3的復合材料能在真空、非磁性條件下使用
    導軌部件使用Si3N4材料制成,具有很好的平滑性能,可以省去使用潤滑油,避免了污染真空環境,影響真空度
    適用zui高真空度10-5Pa的環境

    應用
    電子、半導體制造裝置(EB裝置等)
    新一代半導體設備的研究開發
    其他納米科技研究

     
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    線性馬達規格

    參數AME-15AME-25AMH-13AMH-15AMH-25
    移動量0~15mm0~25mm0~13mm0~15mm0~25mm
    分辨率0.0001mm-
    位置精度0.01mm-
    zui大速度0.07mm/min1mm/min
    推力98N(10kgf)-
    工作溫度20±10℃
    限位傳感器原點、zui大、zui小-
    線長2m
    重量0.29Kg0.3Kg0.13Kg0.14Kg

    中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

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